هدف نگهداری ابزار ICP:
1- تشخیص به موقع خرابی ابزار؛
2) بررسی خطرات مخفی ابزار، تشخیص به موقع و پیشنهاد اقدامات پیشگیری؛
3) از طریق تعمیر و نگهداری ابزار، افزایش حساسیت ابزار و افزایش عمر ابزار؛
4) افزایش ثبات ابزار، تضمین دقت داده های تست؛
نگهداری و نگهداری ابزار ICP:
1) پاک کردن تمام صفحات مدار، فن ها و گرد و غبار سطح ابزار
2) تمیز کردن توپولیزر، اتاق توپولیزر، مخروط نور و لوله مشعل
3) جایگزین آب خنک کننده و تمیز کردن لوله
4) اتصال لوله خلاء، سوئیچ دریچه الکترومغناطیسی بررسی مهر و موم تنظیم موقعیت شکاف پرتو
5) بازرسی عملکرد پمپ خلاء، تعویض روغن پمپ، حلقه مهر و موم، صفحه مولکولی
6) بررسی نشت گاز بین سیلندر و ICP، واجد شرایط مدار تعیین می شود
7) بازرسی گاز ابزار، سنسور گاز، تمیز کردن
8) تعمیر و نگهداری ژنراتور فرکانس بالا RF، تعمیر و نگهداری اتاق خلاء
9) پاسخ به مشکلات کاربر