اهداف بررسی و نگهداری EDX:
1) رفع خطر خرابی ابزار و کاهش میزان خرابی ابزار
2) بهبود حساسیت ابزار، دقت و عملکرد، به ابزار را قادر به عملیات پایدار، ایمن و کارآمد در بلند مدت
3) طول عمر ابزار را افزایش دهید و اثر استفاده از ابزار را به حداکثر برسانید.
دوم،EDXبررسی محتوای نگهداری:
بررسی منبع برق، سیم زمین، فن و غیره
2) تایید کنید که دستگاه محافظت از اشعه ایکس، دوربین CCD، سوئیچ پوشش اتاق نمونه طبیعی است
3) تمیز کردن گرد و غبار داخلی EDX، تمیز کردن صفحه نمونه
4) تمیز کردن روغن اضافی روی میله پیچ مخزن نمونه
5) جایگزینی سوئیچ های میکرو حرکتی، حلقه های نوع 0 و چشمه های بهاری
6) اضافه کردن نیتروژن مایع برای تایید اینکه دمای آشکارساز طبیعی است
7) تایید کنید که آیا ولتاژ بارگذاری لوله اشعه ایکس طبیعی است، بررسی کیفیتی، کمی و اصلاح
8) بررسی اینکه آیا فایل های کامپیوتر بیش از حد هستند و آیا تاثیر غیر معمولی بر سرعت باز شدن وجود دارد
9) ارتباط فنی با کاربر، آموزش عملیات ابزار و توجه
10) با توجه به محتوای مختلف بازرسی، ارائه گزارش بازرسی ابزار